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    JC48B_3軸大氣晶圓校準(zhǔn)器

    JC48B_3軸大氣晶圓校準(zhǔn)器
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    • JC48B_3軸大氣晶圓校準(zhǔn)器

    JC48B_3軸大氣晶圓校準(zhǔn)器

    JC48B_3軸大氣晶圓校準(zhǔn)器,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

    產(chǎn)品描述


    3軸大氣晶圓校準(zhǔn)器
    JC48B_JC系列半導(dǎo)體機器人
     
    • 采用閉環(huán)伺服控制
    • 晶圓固定方式:真空吸附

    校準(zhǔn)晶圓尺寸

    Φ100-Φ200mm

    校準(zhǔn)精度

    晶圓中心:±0.1mm
    晶圓缺口:±0.1°

    校準(zhǔn)時間

    3sec

    新時達眾為興JC48B_3軸大氣晶圓校準(zhǔn)器

    關(guān)鍵詞:

    新時達眾為興JC48B_3軸大氣晶圓校準(zhǔn)器

    規(guī)格參數(shù)

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