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    SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

    SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人
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    • SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

    SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

    SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

    產(chǎn)品描述


    4軸大氣5片晶圓搬運機器人
    SA25_SA系列半導體機器人
     
    • ● 采用閉環(huán)伺服控制
    • ● 可選配免電池絕對式編碼器
    • ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制底座和伸展軸行程
    • ● 末端執(zhí)?器類型:下托式

    臂長

    250mm

    額定/最大負載

    5晶圓

    搬運物

    Φ100~Φ300mm晶圓

    新時達眾為興SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

    關(guān)鍵詞:

    新時達眾為興SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

    規(guī)格參數(shù)

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