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    TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

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    TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進(jìn)口品牌。

    產(chǎn)品描述


    3軸大氣圓柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
    TA4030F-01-03_TA系列半導(dǎo)體機(jī)器人
     
    • ● 采用閉環(huán)伺服控制
    • ● 可選配免電池絕對(duì)式編碼器
    • ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制底座和伸展軸行程
    • ● 末端執(zhí)?器類型:下托式

    臂長(zhǎng)

    200/260/320/400mm

      額定/最大負(fù)載

     3kg

    搬運(yùn)物

    ≤Φ300mm晶圓

    新時(shí)達(dá)眾為興TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

    關(guān)鍵詞:

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    規(guī)格參數(shù)

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